（研磨）抛光液特征有哪些
发布时间：
2024/01/01 21:32
聚晶金刚石抛光液则是应有了聚晶金刚石的优势，在保持高切削效率的情况下，对工件不会产生划伤，它研磨抛光过程中，它主要被用于蓝宝石衬底、光学晶体、硬质玻璃和晶体、硬陶瓷和合金等领域。而单晶金刚石抛光液具有良好的切削力，且被广泛用于超硬材料的研磨抛光过程中。纳米金刚石抛光液则利用纳米金刚石球形状和细粒度粉体能达到的抛光效果。
由于制备的材料不同，研磨抛光样品的数量不同，因此，冷却润滑液与金刚石抛光液没有特定的配比，需要在研磨抛光过程中根据情况添加，以下作为参考：
在当下市场中，金刚石抛光液大致可以分为三种不同类型，分别是聚晶、单晶和纳米的抛光液。金刚石抛光液是由高质量的金刚石微粉、复合分散剂以及分散介质组成的，并且拥有多种配方。在面对不同的研抛过程和工件时，金刚石抛光液拥有适用性强、分散性好、规格齐全、质量稳定等多种优势，且被广泛用于硬质材料的研磨和抛光过程中。
抛光液是一种由去离子水、磨料、PH值调节剂、氧化剂以及分散剂等添加剂组成的水溶性试剂。在抛光的过程中，抛光液中的氧化剂等成分与硅片表面材料产生化学反应，在表面产生一层化学反应薄膜，后由抛光液中的磨粒在压力和摩擦的作用下将其去除，最终实现抛光。抛光液成本主要分为直接材料、直接人工和制造费用，其中上游研磨颗粒等原材料占比，约76.6%左右。
14日，21世纪经济报道记者从获悉，公司已实现抛光液上游核心原材料研磨粒子的自主研发与制备，此外，已规划建设了万吨级研磨粒子生产车间。在抛光液方面，通过差异化布局，已在28nm节点HKMG制程的铝制程抛光液进入吨级采购阶段，在搭载自产高纯氧化硅磨料的氧化层抛光液产品上取得突破，同时也在多晶硅制程、金属铜制程、金属铝制程、阻挡层制程、金属钨制程、介电层制程等20余款抛光液产品全线布局。这意味着自在传统的打印复印通用耗材业务上之外，已在半导体抛光材料产业上，形成了一定链条化的产业布局。
光液，即化学机械抛光液，是指由固体粒子研磨剂、表面活性剂、稳定剂、氧化剂等成分构成的一种水溶性抛光剂。根据工艺不同，CMP抛光液可分为介质层化学机械抛光液、阻挡层化学机械抛光液、铜化学机械抛光液、硅化学机械抛光液、钨化学机械抛光液、TSV化学机械抛光液、浅槽隔离化学机械抛光液等。
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